第(3/3)页 等到他们穿戴好防尘服,静电鞋,以及防尘目镜和口罩,在一番仔细检查,确认头发等细物都未暴露在空气中时,方才被允许进入气锁室内,进行下一步的除尘工作。 晶华净室使用的还是紊流洁净室方案,也就是顶层布置少量风机,两侧开设回风口,通过气流压强进行气流循环,以保证整体的洁净度。 这种紊流洁净室的优点是整体价格比较低,部署周期相对较短,在这个年代属于比较常见的净室方案。 在未来,层流洁净室将会代替这种古老的方案,通过大量风机垂直对准地板上的出风口,将均匀的气流对整体形成循环,以保证最少的杂质和异物进入生产线中。 “我们一般都是使用四探针法,对硅棒进行整体的良率测试,探测出它的轴向杂质浓度,以确认该晶圆是否可以正常使用。” “一般送到这里的硅棒都已经是初步处理过了,已经将硅棒初步剪裁,大概每一段都是三十厘米左右的样子。” 牛玉鹏指着屋内正在不停运转的机器,继续介绍道:“这个就是内圆切割机,用于将硅棒切割成晶圆。” 众人望过去,数十台白色的机器正在其内不断运转,然后自动打包出不少半透明的盒子,而盒子里面,装的就是一片一片的晶圆。 晶圆相对还是很重的,而且在这个年代,大多都是使用人工进行晶圆运输工作,就比如此时,王向中就看到两个工作人员,正小心翼翼地将装有晶圆的透明盒子缓缓卸下,放在小推车上。 晶圆说白了,就是一整片硅单质,它在常温下是高脆度的固体形态,即使是工作人员已经足够小心了,但只要有一个磕碰,就可能导致晶圆表面出现肉眼不可见的裂缝,从而使得良品率下降。 第(3/3)页